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失效分析测试探针台
〖壹〗、 功能：提供稳定高分辨率分析电流。特点：配备双物镜透镜和自动化光阑设计，确保高效、精确样品分析。电子束分辨率可达0.7nm。12寸探针台PW1200：功能：集成电路失效分析、晶圆可靠性认证等一站式解决方案。特点：集成多种测试功能，满足各种失效分析需求。
〖贰〗、 为了满足各种失效分析需求，12寸探针台PW-1200集成了集成电路失效分析、晶圆可靠性认证、元器件特性量测、塑性过程测试、制程监控、封装阶段打线品质测试、ESD和TDR测试、微波量测及太阳能、LED、OLED、LCD领域检测分析等功能，提供一站式解决方案。
〖叁〗、 电子束分辨率在好的工作距离下为30keV下STEM 0.7nm、1keV下4nm、15keV下1nm、1keV下电子束减速模式2nm。
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